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已选条件： 国内中标分类 H 冶金半金属与半导体材料半金属与半导体材料综合

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标准编号	标准名称	发布部门	发布日期	状态
GB/T 13387-2009	硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 13388-2009	硅片参考面结晶学取向X射线测试方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 14139-2009	硅外延片	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	已作废
GB/T 14141-2009	硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定直排四探针法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 14144-2009	硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 14146-2009	硅外延层载流子浓度测定汞探针电容-电压法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 1551-2009	硅单晶电阻率测定方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 1553-2009	硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 1554-2009	硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 1555-2009	半导体单晶晶向测定方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 1558-2009	硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 24574-2009	硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 24575-2009	硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 24576-2009	高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 24577-2009	热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 24578-2009	硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	已作废
GB/T 24579-2009	酸浸取原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 24580-2009	重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 24581-2009	低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行
GB/T 24582-2009	酸浸取电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质	中华人民共和国国家质..	2010-06-01	现行

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