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[GB/T 16595-2019] 晶片通用网格规范[现行]
发布时间：2019-03-25
实施时间：2020-02-01
本标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。本标准适用于标称直径100 mm～200..
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[GB/T 16596-2019] 确定晶片坐标系规范[现行]
发布时间：2019-03-25
实施时间：2020-02-01
本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形..
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[GB/T 34479-2017] 硅片字母数字标志规范[现行]
发布时间：2017-10-14
实施时间：2018-07-01
本标准规定了硅片或其他半导体晶片上字母数字标志的编码规范，包括标志的形状和尺寸、字母数字代码的定义、..
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[GB/T 32279-2015] 硅片订货单格式输入规范[现行]
发布时间：2015-12-10
实施时间：2017-01-01
本标准规定了硅片订货单的格式要求和使用。?本标准适用于硅单晶研磨片、硅单晶抛光片、硅单晶外延片、太阳..
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发布时间：2014-10-14
实施时间：2015-04-01
本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合..
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[GB/T 14863-2013] 用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法[已废止]
发布时间：2013-12-31
实施时间：2014-08-15
本标准规定了用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的测试方法。 本标准适用于外..
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[GB/T 30453-2013] 硅材料原生缺陷图谱[现行]
发布时间：2013-12-31
实施时间：2014-10-01
本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料的各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷的术语及其形貌特..
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[GB/T 30110-2013] 空间红外探测器碲镉汞外延材料参数测试方法[现行]
发布时间：2013-12-17
实施时间：2014-05-15
本标准规定了空间红外探测器用碲镉汞(HgCdTe)外延材料性能参数的测试方法和测试设备要求。本标准适..
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[GB/T 29505-2013] 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法[现行]
发布时间：2013-05-09
实施时间：2014-02-01
本标准提供了硅片表面粗糙度测量常用的轮廓仪、干涉仪、散射仪三类方法的测量原理、测量设备和程序,并规定..
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[GB/T 29057-2012] 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程[现行]
发布时间：2012-12-31
实施时间：2013-10-01
本标准采用区熔拉晶法和光谱分析法来测量多晶硅棒中的施主、受主杂质浓度。测得的施主、受主杂质浓度可以用..
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发布时间：2012-11-07
实施时间：2013-03-01
本标准规定了碲化镉的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同..
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[GB/T 14847-2010] 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法[现行]
发布时间：2011-01-10
实施时间：2011-10-01
本标准规定重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。本标准适用于衬底在23℃电阻率小于0.0..
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[GB/T 26065-2010] 硅单晶抛光试验片规范[现行]
发布时间：2011-01-10
实施时间：2011-10-01
本标准规定了半导体器件制备中用作检验和工艺控制的硅单晶试验片的技术要求。本标准涵盖尺寸规格、结晶取向..
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[GB/T 26066-2010] 硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法[现行]
发布时间：2011-01-10
实施时间：2011-10-01
本标准规定了用热氧化和化学择优腐蚀技术检验抛光片或外延片表面因沾污造成的浅腐蚀坑的检测方法。本标准适..
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[GB/T 26068-2010] 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法[已作废]
发布时间：2011-01-10
实施时间：2011-10-01
本方法适用于测量均匀掺杂、经过抛光处理的n型或p型硅片的载流子复合寿命。本方法是非破坏性、无接触测量..
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发布时间：2011-01-10
实施时间：2011-10-01
本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于线宽18..
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[GB/T 26071-2010] 太阳能电池用硅单晶切割片[已作废]
发布时间：2011-01-10
实施时间：2011-10-01
本标准规定了太阳能电池用硅单晶切割片的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明..
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[GB/T 25075-2010] 太阳能电池用砷化镓单晶[现行]
发布时间：2010-09-02
实施时间：2011-04-01
本标准规定了太阳能电池用砷化镓单晶棒的分类、技术要求、检验方法和规则以及标志、包装、运输和贮存。本标..
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[GB/T 25076-2010] 太阳电池用硅单晶[已作废]
发布时间：2010-09-02
实施时间：2011-04-01
本标准规定了太阳电池用硅单晶的技术要求、试验方法,检验规则以及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于直..
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发布时间：2009-10-30
实施时间：2010-06-01
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于元素..
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