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硅片参考面结晶学取向X射线测试方法现行

Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

标准号：GB/T 13388-2009

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基本信息

标准号：GB/T 13388-2009

发布时间：2009-10-30

实施时间：2010-06-01

首发日期：1992-02-19

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

出版机构：中国标准出版社

标准分类：半金属与半导体材料综合

ICS分类：半导体材料

起草单位：有研半导体材料股份有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

标准简介

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