| 标准编号 | 标准名称 | 发布部门 | 发布日期 | 状态 | |
| GB/T 16595-2019 | 晶片通用网格规范 | 国家市场监督管理总局.. | 2019-11-28 | 现行 | |
| GB/T 16596-2019 | 确定晶片坐标系规范 | 国家市场监督管理总局.. | 2019-11-28 | 现行 | |
| GB/T 34479-2017 | 硅片字母数字标志规范 | 中华人民共和国国家质.. | 2018-07-01 | 现行 | |
| GB/T 32279-2015 | 硅片订货单格式输入规范 | 中华人民共和国国家质.. | 2017-01-01 | 现行 | |
| YS/T 985-2014 | 硅抛光回收片 | 中华人民共和国工业和.. | 2015-04-01 | 现行 | |
| GB/T 14863-2013 | 用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法 | 中华人民共和国国家质.. | 2014-08-15 | 已废止 | |
| GB/T 30453-2013 | 硅材料原生缺陷图谱 | 中华人民共和国国家质.. | 2014-10-01 | 现行 | |
| GB/T 30110-2013 | 空间红外探测器碲镉汞外延材料参数测试方法 | 中华人民共和国国家质.. | 2014-05-15 | 现行 | |
| GB/T 29505-2013 | 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 | 中华人民共和国国家质.. | 2014-02-01 | 现行 | |
| GB/T 29057-2012 | 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程 | 中华人民共和国国家质.. | 2013-10-01 | 现行 | |
| YS/T 838-2012 | 碲化镉 | 中华人民共和国工业和.. | 2013-03-01 | 现行 | |
| GB/T 14847-2010 | 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 | 中华人民共和国国家质.. | 2011-10-01 | 现行 | |
| GB/T 26065-2010 | 硅单晶抛光试验片规范 | 中华人民共和国国家质.. | 2011-10-01 | 现行 | |
| GB/T 26066-2010 | 硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法 | 中华人民共和国国家质.. | 2011-10-01 | 现行 | |
| GB/T 26068-2010 | 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法 | 中华人民共和国国家质.. | 2019-11-28 | 已作废 | |
| GB/T 26069-2010 | 硅退火片规范 | 中华人民共和国国家质.. | 2011-10-01 | 现行 | |
| GB/T 26071-2010 | 太阳能电池用硅单晶切割片 | 中华人民共和国国家质.. | 2019-11-28 | 已作废 | |
| GB/T 25075-2010 | 太阳能电池用砷化镓单晶 | 中华人民共和国国家质.. | 2011-04-01 | 现行 | |
| GB/T 25076-2010 | 太阳电池用硅单晶 | 中华人民共和国国家质.. | 2019-11-28 | 已作废 | |
| GB/T 14264-2009 | 半导体材料术语 | 中华人民共和国国家质.. | 2010-06-01 | 现行 |
