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确定晶片坐标系规范现行

Specification for establishing a wafer coordinate system

标准号：GB/T 16596-2019

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基本信息

标准号：GB/T 16596-2019

发布时间：2019-03-25

实施时间：2020-02-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：卢立延、孙燕、潘金平、杨素心、楼春兰、胡金枝、李素青

出版机构：中国标准出版社

标准分类：半金属与半导体材料综合

ICS分类：半导体材料

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

起草单位：有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

发布部门：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。

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