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已选条件： 国内中标分类 L 电子元器件与信息技术电子工业生产设备加工专用设备

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标准编号	标准名称	发布部门	发布日期	状态
SJ/T 31116-1994	PLA－501F型光刻机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	已废止
SJ/T 31117-1994	15B型磨片机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	已废止
SJ/T 31118-1994	RS－H80H型外圆磨机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	已废止
SJ/T 31119-1994	掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	修订
SJ/T 31120-1994	KSM－MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	已废止
SJ/T 31121-1994	JB－VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	已废止
SJ/T 31128-1994	近红外厚膜烧结炉完好要求和检查评定方法		1997-01-01	已作废
SJ/T 31130-1994	D051－22型高温氢气炉完好要求和检查评定方法		1997-01-01	已废止
SJ/T 31131-1994	4304型扩散炉完好要求和检查评定方法		1997-01-01	已废止
SJ/T 31132-1994	ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法		1997-01-01	已废止
SJ/T 31133-1994	中速自动玻管拉管机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	现行
SJ/T 31134-1994	焊接机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	废止
SJ/T 31136-1994	磨粉机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	废止
SJ/T 31137-1994	（钡）合金熔炼炉完好要求和检查评定方法		1997-01-01	废止
SJ/T 31184-1994	芯柱焊接机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	废止
SJ/T 31185-1994	氢气退火炉完好要求和检查评定方法		1997-01-01	废止
SJ/T 31186-1994	荫罩黑化炉完好要求和检查评定方法		1997-01-01	废止
SJ/T 31187-1994	低熔点玻璃烧结炉完好要求和检查评定方法		1997-01-01	废止
SJ/T 31188-1994	稳定处理炉完好要求和检查评定方法		1997-01-01	废止
SJ/T 31189-1994	显像管玻壳屏、锥压机完好要求和检查评定方法		1997-01-01	废止

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