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标准编号 标准名称 发布部门 发布日期 状态
SJ/T 31091-1994 晶片内圆切片机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
SJ/T 31092-1994 晶片数控切割(划片)机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 修订
SJ/T 31093-1994 陶瓷劈刀外圆磨床完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
SJ/T 31095-1994 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
SJ/T 31097-1994 TDH-4C4TO型去飞边机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
SJ/T 31098-1994 LH型液体去飞边机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
SJ/T 31099-1994 倒角机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 修订
SJ/T 31101-1994 贴片机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
SJ/T 31102-1994 142型翻版机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
SJ/T 31103-1994 786-HT型分选机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
SJ/T 31104-1994 分选机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
SJ/T 31105-1994 DRS-Ⅱ840型激光修版机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
SJ/T 31106-1994 PPT-10型膜片成型机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
SJ/T 31107-1994 ZDS-1型电泳机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
SJ/T 31108-1994 CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
SJ/T 31109-1994 高压单晶炉完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
SJ/T 31110-1994 AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
SJ/T 31111-1994 AMC-7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
SJ/T 31113-1994 DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
SJ/T 31115-1994 精缩机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 已废止
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