| 标准编号 | 标准名称 | 发布部门 | 发布日期 | 状态 | |
| GB/T 12965-1996 | 硅单晶切割片和研磨片 | 国家技术监督局 | 1997-04-01 | 已作废 | |
| YS/T 15-1991 | 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法 | 1992-06-01 | 已作废 | ||
| GB 12962-1991 | 硅单晶 | 1992-03-01 | 已作废 | ||
| GB 12963-1991 | 硅多晶 | 1992-03-01 | 已作废 | ||
| GB 12964-1991 | 硅单晶抛光片 | 1992-03-01 | 已作废 | ||
| GB 12965-1991 | 硅单晶切割片和研磨片 | 1992-01-01 | 已作废 | ||
| GB 2881-1991 | 工业硅技术条件 | 国家技术监督局 | 1992-06-01 | 已作废 | |
| YS/T 14-1991 | 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 | 1992-06-01 | 已作废 |
