基本信息
标准号：SJ 2796-1987
发布时间：1987-04-06
实施时间：1988-01-01
首发日期：
出版单位：电子工业出版社查看详情>
起草人：林耀泽、赵长春、周定华
作废日期：2010-01-20
出版机构：电子工业出版社
标准分类： 技术管理
提出单位：中国电子学会洁净技术学会
起草单位：电子工业部第二十四研究所、电子工业部标准化研究所
发布部门：中华人民共和国电子工业部
标准简介
本标准适用于半导体分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧、按其使用要求电子级氧分为两级，代号为：电子 Ⅰ级氧代号为：DZO2-Ⅰ ; Ⅱ级氩代号为：DZO2- Ⅱ
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