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四探针探头通用技术条件现行

Generic specification for Four-point probe

标准号：SJ/T 10315-1992

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基本信息

标准号：SJ/T 10315-1992

发布时间：1992-06-15

实施时间：1992-12-01

首发日期：

出版单位：电子工业出版社查看详情>

起草人：张建勇、查名瑞、李达汉、刘学俭、鲁效明、耿玉梅

出版机构：电子工业出版社

标准分类：技术管理

起草单位：国营建中机器厂、中国计量科学研究院

归口单位：电子工业部标准化研究所

发布部门：中华人民共和国电子工业部

标准简介

本标准规定了四探针探头（以下简称探头）的术语、技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业所使用的四探针法测试半导体棒、片、薄层以及金属薄层的电阻率、薄层电阻的电阴的探头。本标准与SJ/T 10314《直流四探针电阻率测试仪通用技术条件》标准配套使用。

替代情况

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采标情况

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