电子级氢中痕量氧＋氩、氮测定方法变温浓缩色谱法已废止

Method for determination of Oxygen with Argon and Nitrogen in electronic grade Hydrogen-Concentration gas chromatographic method

标准号：SJ 2805-1987

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基本信息

标准号：SJ 2805-1987

发布时间：1987-04-06

实施时间：1988-01-01

首发日期：

出版单位：电子工业出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2010-01-20

出版机构：电子工业出版社

标准分类：技术管理

提出单位：中国电子学会洁净技术学会

起草单位：电子工业部标准化研究所

发布部门：中华人民共和国电子工业部

标准简介

本方法适用于电子级氢中痕量氧十氩、氮的测定。应用此方法可同时测定甲烷、一氧化碳、二氧化碳，最低检测量为0.01ppm。

替代情况

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