
基本信息
标准号:SJ 2794-1987
发布时间:1987-04-06
实施时间:1988-01-01
首发日期:
出版单位:电子工业出版社查看详情>
起草人:尹恩华、赵长春、周定华
作废日期:2010-01-20
出版机构:电子工业出版社
标准分类: 技术管理
提出单位:中国电子学会洁净技术学会
起草单位:电子工业部标准化研究所
发布部门:中华人民共和国电子工业部
标准简介
本标准适用于半导体材料、分立器体和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氮,按其使用要求电子级氢,分为三级,代号为:电子Ⅰ级氮代号为:DZN2-Ⅰ;电子Ⅱ级氮代号为:DZN2-Ⅱ;电子Ⅲ级氮代号为:DZN2-Ⅲ。
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