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电子级气体中痕量二氧化碳测定方法氢焰转化色谱法已废止

Method for determination of trace Carbon dioxide in electronic grade gases-Hydrogen flame ionzation detertor method

标准号：SJ 2802-1987

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基本信息

标准号：SJ 2802-1987

发布时间：1987-04-06

实施时间：1988-01-01

首发日期：

出版单位：电子工业出版社查看详情>

起草人：朱国华、赵长春

作废日期：2010-01-20

出版机构：电子工业出版社

标准分类：技术管理

提出单位：中国电子学会洁净技术学会

起草单位：电子工业部标准化研究所

发布部门：中华人民共和国电子工业部

标准简介

本方法适用于电子级氢、氮、氩中痕量二氧化碳的测定，测定范围为0.05～16ppm。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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