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电子级气体中痕量甲烷的测定方法氢焰色谱法已废止

Method for determination of trace methanane in electronic grade gases-Hydrogen flame ionization deteror method

标准号：SJ 2800-1987

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基本信息

标准号：SJ 2800-1987

发布时间：1987-04-06

实施时间：1988-01-01

首发日期：

出版单位：电子工业出版社查看详情>

起草人：于锡荣、赵长春、尹恩华

作废日期：2010-01-20

出版机构：电子工业出版社

标准分类：技术管理

提出单位：中国电子学会洁净技术学会

起草单位：电子工业部标准化研究所

发布部门：中华人民共和国电子工业部

标准简介

本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩气体中痕量甲烷的测定，亦适用于空气及其他惰性气体中甲烷的测定，当进样量为1m1升时，最低检测浓度为0.1ppm。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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