基本信息
标准号：SJ 2797-1987
发布时间：1987-04-06
实施时间：1988-01-01
首发日期：
出版单位：电子工业出版社查看详情>
起草人：赵长春、周定华
作废日期：2010-01-20
出版机构：电子工业出版社
标准分类： 技术管理
提出单位：中国电子学会洁净技术学会
起草单位：电子工业部标准化研究所
发布部门：中华人民共和国电子工业部
标准简介
本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氩、按其使用要求电子级氩分为两级，代号为：电子 Ⅰ级氩代号为：DZAr-Ⅰ ; Ⅱ级氩代号为：DZAr- Ⅱ
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