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电子级气体中颗粒的测定方法光散射法已废止

Method for determination of particles in electronic grade gases-Light scattering method

标准号：SJ 2798-1987

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基本信息

标准号：SJ 2798-1987

发布时间：1987-04-06

实施时间：1988-01-01

首发日期：

出版单位：电子工业出版社查看详情>

起草人：周定华、杜俊英、赵长春

作废日期：2010-01-20

出版机构：电子工业出版社

标准分类：技术管理

提出单位：中国电子学会洁净技术学会

起草单位：电子工业部标准化研究所

发布部门：中华人民共和国电子工业部

标准简介

本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩、氦中颗粒测定，也适用于普通氢、氮、氧、氩、氦及其他无腐蚀性气体中颗粒的测定。

替代情况

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