电子级氩中痕量氮测定方法变温浓缩色谱法（二）已废止

Method for determination of trace Nitrogen in electronic grade Argon-Concentration gas chromatographic method (Part two)

标准号：SJ 2804.2-1987

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基本信息

标准号：SJ 2804.2-1987

发布时间：1987-04-06

实施时间：1988-01-01

首发日期：

出版单位：电子工业出版社查看详情>

起草人：王铭安、赵长春、尹恩华

作废日期：2010-01-20

出版机构：电子工业出版社

标准分类：技术管理

提出单位：中国电子学会洁净技术学会

起草单位：电子工业部标准化研究所

发布部门：中华人民共和国电子工业部

标准简介

本方法适用于电子级氩中痕量氮测定，应用此法可同时测定其中甲烷、一氧化碳和二氧化碳含量。测定范围为0.5～50ppm。

替代情况

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