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电子级气体中痕量水分子的测定方法目视露点法已废止

Method for determination of trace water in electronic grade gases-Dew point method

标准号：SJ 2799-1987

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基本信息

标准号：SJ 2799-1987

发布时间：1987-04-06

实施时间：1988-01-01

首发日期：

出版单位：电子工业出版社查看详情>

起草人：尹恩华、郎文卉、于凤来、赵长春

作废日期：2010-01-20

出版机构：电子工业出版社

标准分类：技术管理

提出单位：中国电子学会洁净技术学会

起草单位：电子工业部标准化研究所

发布部门：中华人民共和国电子工业部

标准简介

本方法适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定，测定范围0～90℃。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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