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直流四探针电阻率测试仪通用技术条件已废止

Generic specification for resistivity measuring instrument with DC four-point probe

标准号：SJ/T 10314-1992

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基本信息

标准号：SJ/T 10314-1992

发布时间：1992-06-15

实施时间：1992-12-01

首发日期：

出版单位：电子工业出版社查看详情>

起草人：查名瑞、李达汉、刘学俭、鲁效明、昊良宏

作废日期：2010-01-20

出版机构：电子工业出版社

标准分类：技术管理

提出单位：中华人民共和国机械电子工业部科学技术司

起草单位：北京建中机器厂、中国计量科学研究院

归口单位：电子工业部标准化研究所

发布部门：中华人民共和国电子工业部

标准简介

本标准规定了直流四探针电阻率测试仪（以下简称四探针测试仪）的主要技术性能、测试方法、检测规则、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业生产与科研中测量半导体、金属薄层等的电阻率、薄层电阻和电阻的直流四探针测试仪，其它以四探针法为基础的六探针、交直流四探针电阻率、薄层电阻测试仪可参照使用。本标准不包括四探针探头标准。

替代情况

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