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氧化锌压电薄膜规范 现行

Specification for ZnO piezoelectric films

标准号:SJ 20717-1998

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基本信息

标准号:SJ 20717-1998
发布时间:1998-03-18
实施时间:1998-05-01
首发日期:
出版单位:电子工业出版社查看详情>
起草人:陈运祥、毕四英、李治成、贾子福、王玉功
出版机构:电子工业出版社
标准分类:  >>>>L5971
起草单位:电子工业部第二十六研究所
归口单位:中国电子技术标准化研究所
发布部门:中华人民共和国电子工业部

标准简介

本规范规定了氧化锌电薄膜的要求、质量保证规定和交货准备等。本规范适用于声体波微波延迟线氧化锌(ZnO)、硅(Si)声表面卷积器、存贮相关器使用的氧化锌压电薄膜。

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