DIN IEC 62047-4 : DRAFT 2006被替代
SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 4: GENERIC SPECIFICATION FOR MEMS
出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
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基本信息
标准编号： DIN IEC 62047-4 : DRAFT 2006
标准类别：Draft
出版单位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
标准页数：0
标准简介
In diesem Teil der IEC 62047 sind Fachgrundspezifikationen (Generic Specifications) für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MST) als Basis für die Spezifikationen beschrieben, welche in anderen Teilen dieser Serie für unterschiedliche MST-Anwendungsbereiche angegeben sind. Diese Norm enth?lt Festlegungen sowohl zu allgemeinen Verfahren für Qualit?tsbewertungen, um sie innerhalb des IECQ-CECC-Systems zu verwenden, als auch allgemeine Prinzipien zur Beschreibung und Messung bzw. Prüfung von elektrischen, optischen, mechanischen und umgebungsspezifischen Kenngr?ssen.
替代本标准的新标准
