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DIN EN 62047-4 : 2011现行

SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 4: GENERIC SPECIFICATION FOR MEMS

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息

标准编号： DIN EN 62047-4 : 2011

发布时间：2011/1/1 0:00:00

标准类别：Standard

出版单位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

标准页数：22

本标准替代的旧标准

DIN IEC 62047-4 : DRAFT 2006

等同采用的国际标准

EN 62047-4 : 2010 - Identical

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