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DIN EN 62047-11 (2014-04)现行

Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 11: Test Method For Coefficients Of Linear Thermal Expansion Of Free-standing Materials For Micro-electromechanical Systems (iec 62047-11:2013)

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息

标准编号： DIN EN 62047-11 (2014-04)

发布时间：2014/4/1 0:00:00

标准类别：Standard

出版单位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

标准页数：21

标准简介

2014 [01/04/2014]

标准备注

Supersedes DIN IEC 62047-11. (04/2014)

本标准替代的旧标准

DIN IEC 62047-11 (2010-06)

DIN EN 62047-11 (2014-04)现行

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