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DIN IEC 62047-11 (2010-06)被替代

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 11: Test method for linear thermal expansion coefficients of MEMS materials (IEC 47F/49/CD:2010)

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息

标准编号： DIN IEC 62047-11 (2010-06)

发布时间：2010/6/1 0:00:00

标准类别：Draft

出版单位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

标准页数：24

替代本标准的新标准

DIN EN 62047-11 (2014-04)

DIN IEC 62047-11 (2010-06)被替代

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