DIN EN 62047-21 (2015-04)现行
Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials (iec 62047-21:2014)
出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
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基本信息
标准编号： DIN EN 62047-21 (2015-04)
发布时间：2015/4/1 0:00:00
标准类别：Standard
出版单位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
标准页数：16
标准简介
2015 [01/04/2015]DRAFT 2012 [01/11/2012]
本标准替代的旧标准
等同采用的国际标准
EN 62047-21:2014 - Identical
