
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials
出版:Belgian Standards

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基本信息
标准编号: NBN EN 62047-21:2014
发布时间:2014/11/1 0:00:00
标准类别:Standard
出版单位:Belgian Standards
标准页数:0
标准简介
2014 [01/11/2014]
等同采用的国际标准
EN 62047-21:2014 - Identical
EN 62047-21 : 2014 - Identical
IEC 62047-21 : 1ED 2014 - Identical