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NEN EN IEC 62047-26 : 2016现行

SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 26: DESCRIPTION AND MEASUREMENT METHODS FOR MICRO TRENCH AND NEEDLE STRUCTURES

出版：Netherlands Standards

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基本信息

标准编号： NEN EN IEC 62047-26 : 2016

标准类别：Standard

出版单位：Netherlands Standards

标准页数：0

标准简介

Provides descriptions of trench structure and needle structure in a micrometer scale.

等同采用的国际标准

EN 62047-26 : 2016 - Identical

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