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SS-EN ISO 14644-5 : 2004现行

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 5: Operations

出版：Standardiserings-Kommissionen I Sverige

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基本信息

标准编号： SS-EN ISO 14644-5 : 2004

标准类别：Standard

出版单位：Standardiserings-Kommissionen I Sverige

标准页数：0

标准简介

This part of ISO 14644 specifies basic requirements for cleanroom operations. It is intended for those planning to use and operate a cleanroom.

等同采用的国际标准

EN ISO 14644-5 : 2004 - Identical

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