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BS EN 62047-26:2016现行

Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 26: Description And Measurement Methods For Micro Trench And Needle Structures

出版：British Standards Institution

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基本信息

标准编号： BS EN 62047-26:2016

标准类别：Standard

出版单位：British Standards Institution

标准页数：0

标准简介

2016 [31/05/2016]

标准备注

Supersedes 14/30294910 DC. (05/2016)

本标准替代的旧标准

14/30294910 DC

等同采用的国际标准

EN 62047-26:2016 - Identical

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