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14/30294910 DC被替代

Bs En 62047-26 Ed1.0 - Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 26: Description And Measurement Methods For Micro Trench And Needle Structures

出版：British Standards Institution

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基本信息

标准编号： 14/30294910 DC

发布时间：2014/10/24 0:00:00

标准类别：Draft

出版单位：British Standards Institution

标准页数：29

标准简介

DRAFT OCT 2014 [24/10/2014]

替代本标准的新标准

BS EN 62047-26:2016

14/30294910 DC被替代

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