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DIN EN 62047-26 : 2014现行

SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 26: DESCRIPTION AND MEASUREMENT METHODS FOR MICRO TRENCH AND NEEDLE STRUCTURES (IEC 62047-26:2016)

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息

标准编号： DIN EN 62047-26 : 2014

发布时间：2014/1/1 0:00:00

标准类别：Standard

出版单位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

标准页数：53

等同采用的国际标准

EN 62047-26 : 2016 - Identical

IEC 62047-26 : 1ED 2016 - Identical

DIN EN 62047-26 : 2014现行

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