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硅外延片检测方法已废止

Method of inspection for silicon epitaxial wafers

标准号：SJ 1550-1979

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基本信息

标准号：SJ 1550-1979

发布时间：1980-03-01

实施时间：1980-06-01

首发日期：

起草人：

作废日期：2010-02-01

标准分类：半金属

发布部门：中华人民共和国第四机械工业部

标准简介

本标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的检测方法。其检测项目有外延层电阻率、外延层厚度、层错密度、位错密度、夹层和表面缺陷等

替代情况

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引用标准

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