当前位置：
首页 >
扫描探针显微镜校准规范
扫描探针显微镜校准规范 现行
Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
标准号：JJF 1351-2012
基本信息
标准号：JJF 1351-2012
发布时间：2012-06-18
实施时间：2012-09-18
首发日期：
出版单位：中国质检出版社查看详情>
起草人：朱振宇、任冬梅等
出版机构：中国质检出版社
起草单位：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院等
归口单位：全国几何量长度计量技术委员会
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
主管部门：全国几何量长度计量技术委员会
标准简介
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。
标准摘要
| 本规范为初次发布。制定本规范的目的主要是解决工业中扫描探针显微镜校准问题。规范编制中参考了国际上纳米计量领域的一些理论性研究成果,并以实际纳米计量工作中的一些实验数据为基础制定了本规范。 |
标准目录
| x引言 (Ⅱ) 1 范围 (1) 2 引用文件 (1) 3 术语和定义 (1) 3.1 扫描探针显微镜 (1) 3.2 扫描探针显微镜Z 向漂移 (1) 4 概述 (1) 5 计量特性 (2) 5.1 扫描探针显微镜Z 向漂移 (2) 5.2 X、Y 轴位移测量误差 (2) 5.3 Z 轴位移测量误差 (2) 5.4 扫描探针显微镜测量重复性 (2) 5.5 X、Y 坐标正交性误差 (2) 6 校准条件 (2) 6.1 环境条件 (2) 6.2 标准器 (2) 7 校准项目和校准方法 (3) 7.1 扫描探针显微镜Z向漂移 (3) 7.2 X、Y 轴位移测量误差 (4) 7.3 Z 轴位移测量误差 (5) 7.4 扫描探针显微镜测量重复性 (6) 7.4.1 X、Y 轴测量重复性 (6) 7.4.2 Z轴测量重复性 (6) 7.5 X、Y 坐标正交性误差 (6) 8 校准结果表达 (7) 9 复校时间间隔 (7) 附录A 扫描探针显微镜校准结果的测量不确定度评定 (8) |
推荐检测机构
申请入驻
暂未检测到相关机构，邀您申请入驻~
推荐认证机构
申请入驻
暂未检测到相关机构，邀您申请入驻~
推荐培训机构
申请入驻
暂未检测到相关机构，邀您申请入驻~
© 2018 北京寰标伟业科技发展有限公司版权所有并保留所有权利。
ICP备案证书号：京ICP备17031081号-1 客服电话：010-62050868
