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300？900 UM 硅片间隙氧含量红外吸收测量方法已作废

300～900μm Silicon slices－Measuring of interstitial oxygen content－Infrared absorption method

标准号：GB/T 14143-1993

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基本信息

标准号：GB/T 14143-1993

发布时间：1993-02-06

实施时间：1993-10-01

首发日期：1993-02-06

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2006-11-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：金属无损检验方法

ICS分类： 29.040.30

起草单位：机电部第四十六研究所

归口单位：中国有色金属工业协会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：中国有色金属工业协会

标准简介

本标准规定了用红外吸收法测定厚度为300~900μm的硅片间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的硅片间隙氧含量的测量。

替代情况

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