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半导体用透明石英玻璃器件
半导体用透明石英玻璃器件 废止
Transparent quartz glass devices for semiconductor
标准号：JC/T 181-2011
基本信息
标准号：JC/T 181-2011
发布时间：2011-12-20
实施时间：2012-07-01
首发日期：
出版单位：建材工业出版社查看详情>
起草人：
出版机构：建材工业出版社
标准分类： 石英玻璃
ICS分类：玻璃产品
起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。
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