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用于集成电路制造技术的检测图形单元规范现行

Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture

标准号：GB/T 16878-1997

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基本信息

标准号：GB/T 16878-1997

发布时间：1997-06-20

实施时间：1998-03-01

首发日期：1997-06-20

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

出版机构：中国标准出版社

标准分类：加工专用设备

ICS分类：集成电路、微电子学

起草单位：中国科学院缩微电子中心

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本规范规定若干种标准测试图形，用以对集成电路生产中所用的微图形设备、计量仪器和工艺进行一致的全面评估和检测。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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