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太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法

Test method for thickness and total thickness variation of silicon wafers for solar cell
标准号:GB/T 30869-2014
基本信息
标准号:GB/T 30869-2014
发布时间:2014-07-24
实施时间:2015-02-01
首发日期:
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:何紫军、冯地直、程宇、黎阳、陈琳、荆旭华、刘卓
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 金属物理性能试验方法
ICS分类:金属材料试验
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
起草单位:东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、有研半导体材料股份有限公司、乐山新天源太阳能科技有限公司、青洋电子材料有限公司
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了太阳能电池用硅片(以下简称硅片)厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。本标准适用于符合 GB/T26071、GB/T29055规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量,分立式测量方法适用于接触式及非接触式测量,扫描式测量方法只适用于非接触式测量。在测量仪器准许的情况下,本标准也可用于其他规格硅片的厚度及总厚度变化的测量。
标准摘要
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本标准起草单位:东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、有研半导体材料股份有限公司、乐山新天源太阳能科技有限公司、青洋电子材料有限公司。 本标准主要起草人:何紫军、冯地直、程宇、黎阳、陈琳、荆旭华、刘卓。 |
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