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压电器件用五氧化二钽薄膜规范现行

Specification for Ta2O5 films for use in piezoelectric devices

标准号：SJ 20518-1995

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基本信息

标准号：SJ 20518-1995

发布时间：1995-05-25

实施时间：1995-12-01

首发日期：

起草人：

标准分类：技术管理

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