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半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范现行

Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM)

标准号：GB/T 24468-2009

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基本信息

标准号：GB/T 24468-2009

发布时间：2009-10-15

实施时间：2009-12-01

首发日期：2009-10-15

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子测量与仪器综合

ICS分类：测量仪器仪表

起草单位：中国电子技术标准化研究所

归口单位：469-203 全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

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