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硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法已作废

The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

标准号：GB/T 1557-2006

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基本信息

标准号：GB/T 1557-2006

发布时间：2006-07-18

实施时间：2006-11-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：梁红、覃锐兵、王炎

作废日期：2019-06-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：金属物理性能试验方法

ICS分类：金属材料化学分析

提出单位：中国有色金属工业协会

起草单位：峨眉半导体材料厂

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

发布部门：中华人民共和国质量监督检验检疫总局和国家标准化管理委员会

主管部门：中国有色金属工业协会

标准简介

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室外温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm中间的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固熔度。

替代情况

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