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扫描探针显微镜漂移速率测量方法

Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
标准号:GB/T 29190-2012
基本信息
标准号:GB/T 29190-2012
发布时间:2012-12-31
实施时间:2013-06-01
首发日期:
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:黄文浩、陈宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛顿、朱五林、刘一
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 光学计量
ICS分类:有关光学和光学测量的其他标准
提出单位:中国科学院
起草单位:中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院
归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门:中国科学院
标准简介
本标准规定了SPM 漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM 扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
标准摘要
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由中国科学院提出并归口。 本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。 本标准起草单位:中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院。 本标准主要起草人:黄文浩、陈宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛顿、朱五林、刘一。 |
标准目录
前言 Ⅰ 引言 Ⅱ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义、缩略语 1 4 测量方法 2 5 要求 2 5.1 仪器要求 2 5.2 环境要求 2 6 测量步骤 2 7 测量报告 3 附录A (规范性附录) 图像相关分析法 4 附录B(规范性附录) 特征点法 7 附录C (规范性附录) 非周期光栅法 9 附录D (资料性附录) 原子光栅法 12 附录E (资料性附录) 测量方法比较 14 参考文献 15 |
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