碳化硅单晶抛光片 现行
Polished monocrystalline silicon carbide wafers
标准号：GB/T 30656-2014
基本信息
标准号：GB/T 30656-2014
发布时间：2014-12-31
实施时间：2015-09-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘春俊、刘振洲
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 化合物半导体材料
ICS分类：半导体材料
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)
起草单位：陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘春俊、刘振洲
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书及订货单（或合同）内容。 本标准适用于4H及6H碳化硅单晶研磨片经单面或双面抛光后制备的碳化硅单晶抛光片。产品主要用于制作半导体照明及电力电子器件的外延衬底。
标准摘要
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本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本标准起草单位:北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。 本标准主要起草人:陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘春俊、刘振洲。 |
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