
Semiconductor materials-Terms and definitions
标准号:GB/T 14264-1993
基本信息
标准号:GB/T 14264-1993
发布时间:1993-03-20
实施时间:1993-01-02
首发日期:1993-03-20
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:
作废日期:2010-06-01
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 半金属与半导体材料综合
ICS分类:
29.040.30
起草单位:中国有色金属总公司标准所
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门:国家技术监督局
主管部门:国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于素和化合物半导体材料。
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