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硅片直径测量方法千分尺法已作废

Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Micrometer method

标准号：GB/T 14140.2-1993

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基本信息

标准号：GB/T 14140.2-1993

发布时间：1993-02-06

实施时间：1993-10-01

首发日期：1993-02-06

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：王从赞、夏光勤

作废日期：2010-06-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：半金属

ICS分类：金属材料试验综合

提出单位：中国有色金属工业总公司

起草单位：洛阳单晶硅厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了用千分尺测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准不作为仲裁测量方法。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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