基本信息
标准号:JB/T 6922-2015
发布时间:2015-10-10
实施时间:2016-03-01
首发日期:
出版单位:机械工业出版社查看详情>
起草人:
出版机构:机械工业出版社
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10-4 Pa~5×10-3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备。
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