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电子工业用气体 硒化氢
电子工业用气体 硒化氢 现行
Gases for electronic industry—Hydrogen selenide
标准号：GB/T 26249-2010
基本信息
标准号：GB/T 26249-2010
发布时间：2011-01-14
实施时间：2011-05-01
首发日期：2011-01-14
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、周鹏云、徐少兵
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 工业气体与化学气体
ICS分类：工业气体
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河北保定市北方特种气体有限公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
标准简介
本标准规定了硒化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。分子式:H2Se。相对分子质量:80.97588(按2007年国际相对原子质量计算)。
标准摘要
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本标准的附录Ａ 和附录Ｂ为规范性附录。附录Ｃ 为资料性附录。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203/SC1)归口。 本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河北保定市北方特种气体有限公司。 本标准主要起草人:周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、周鹏云、徐少兵。 |
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