
Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen
标准号:GB/T 26251-2010
基本信息
标准号:GB/T 26251-2010
发布时间:2011-01-14
实施时间:2011-05-01
首发日期:2011-01-14
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓、倪志强、邓建平、周鹏云
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 工业气体与化学气体
ICS分类:工业气体
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草单位:中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院
归口单位:全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门:全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203)
标准简介
本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全的要求。本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟。氟用于制备六氟化铀、六氟化硫、三氟化硼、二氟化银、三氟化钴和三氟化镁等氟化物,也可用于激光气或塑料氟化处理等领域。氟氮混合气制备采用压力法。混合气主要用于汽车、制药工业中材料氟化处理。氟的分子式:F2。氟的相对分子质量:37.9968064(按2007年国际相对原子质量计算)。
标准摘要
本标准的附录A 为规范性附录。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。 本标准由全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203)归口。 本标准起草单位:中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院。 本标准主要起草人:杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓、倪志强、邓建平、周鹏云。 |
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