基本信息
标准号：JB/T 8946-2010
发布时间：2010-02-11
实施时间：2010-07-01
首发日期：
出版单位：机械工业出版社查看详情>
起草人：
出版机构：机械工业出版社
标准分类： 真空技术与设备
ICS分类：真空技术
起草单位：沈阳北宇真空设备厂;沈阳真空技术研究所
归口单位：全国真空技术标委会
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本标准规定了真空离子镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备；电子束蒸发离子镀膜设备；磁控溅射离子镀膜设备；上述三类离子镀膜设备的组合。其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。
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