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电子工业用气体氧化亚氮已作废

Gases for electronic industry. Nitrous oxide

标准号：GB/T 14600-1993

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基本信息

标准号：GB/T 14600-1993

发布时间：1993-08-26

实施时间：1994-07-01

首发日期：1993-08-26

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：段淑芳

作废日期：2010-05-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：中华人民共和国化学工业部

起草单位：化工部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用气体——瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。

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