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碳化硅单晶 现行

标准号:T/IAWBS 001-2017

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基本信息

标准号:T/IAWBS 001-2017
发布时间:2017-12-20
实施时间:2017-12-31
首发日期:
出版单位:中国质检出版社查看详情>
起草人:陆敏、刘振洲、彭同华、郑红军、王文军、林健、闫果果、刘春俊、何丽娟、钮应喜、彭燕、陈海芹
出版机构:中国质检出版社
起草单位:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司、北京天科合达新材料有限公司、新疆天科合达半导体股份有限公司等
发布部门:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

标准简介

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件的外延衬底。

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